МИЭТ привезет из Японии микроэлектронную мини-фабрику без «чистых комнат»

Зеленоградский вуз планирует наладить микроэлектронное производство по инновационной технологии.

В декабре 2016 года Научно-исследовательский университет МИЭТ и «Корпорация развития Зеленограда», управляющая компания территориального кластера «Зеленоград», подписали соглашение с японскими компаниями Yokogawa и Tokyo Boeki о сотрудничестве по исследованию и развитию технологии Minimal Fab, сообщает префектура Зеленограда со ссылкой на ректора вуза Владимира Беспалова.

Стандарт Minimal Fab разработан в Японии для проведения исследований, прототипирования, мелкосерийного и серийного производства в области микроэлектроники. Эта энергоэффективная технология позволяет на площади в несколько десятков квадратных метров реализовать полноценное производство микроэлектронной продукции без необходимости использования «чистых помещений». При этом стоимость оборудования сокращена почти в тысячу раз по сравнению с обычным микроэлектронным производством. В сообщении отмечается, что идея мини-фабрик как альтернативный путь развития микроэлектронных производств и, прежде всего, мелкосерийных многономенклатурных производств, чрезвычайно перспективна. В производстве модулей стандарта Minimal Fab сегодня задействовано более 150 ведущих производителей оборудования для микроэлектроники.

По словам Владимира Беспалова, возглавляемый им вуз рассчитывает развивать эту технологию в России. «Для этого МИЭТ и Инновационный территориальный кластер "Зеленоград" создадут технологический центр на нашей открытой площадке. […] В первую очередь, мы рассчитываем на трансфер этой технологии в научные центры, а затем и в промышленные компании, что создаст условия для развития приборостроения и построения технологического оборудования уже с участием наших компаний, в том числе и компаний среднего и малого бизнеса», — сказал ректор МИЭТ. Гендиректор «Корпорации развития Зеленограда» Владимир Зайцев, в свою очередь, отметил, что в этой технологии заинтересованы очень многие предприятия, причем не только входящие в кластер «Зеленоград».

В Зеленограде планируют производить микросхемы и продукцию по технологии Minimal Fab, в частности, для биомедицины и автомобильной индустрии. Кроме того, на мини-фабрике МИЭТ собираются делать датчики и детекторы для промышленного применения и применения в качестве комплектующих.