Зеленоградский нанотехнологический центр начал поставку на рынок фотолитографов с разрешением 350 нанометров.

Как сообщили в ЗНТЦ, 23 сентября на площадке российского форума «Микроэлектроника 2025» в Сочи был подписан договор на поставку первого фотолитографа компании «Отраслевые решения», входящей в группу «Элемент». Помимо поставки договор предусматривает монтаж и пуско-наладку оборудования.

При подписании соглашения гендиректор ЗНТЦ Анатолий Ковалев отметил, что его компания завершила разработку фотолитографа с разрешением 350 нанометров, параметры которого были подтверждены на производственной площадке, и сейчас переходит к серийному выпуску таких установок. «Это первый шаг в создании линейки российских литографов. Создан серьезный задел, который позволяет нам перейти к разработке полностью локализованных установок с нормами 90 нанометров», — отметил Ковалев.

Компания «Отраслевые решения», выступившая покупателем первого фотолитографа, по данным РБК, была создана в 2022 году и зарегистрирована в одном из зданий завода «Микрон», входя вместе с ним в группу компаний «Элемент». Как пишет отраслевое издание CNews, «Отраслевые решения» отвечают за локализацию в России всей производственной цепочки силовой электроники, востребованной в энергетике, тяжелом и легком машиностроении, приборостроении и авиации.

Сумма сделки по первому фотолитографу сторонами не разглашается. При этом ожидается, что следующая разработка ЗНТЦ в этой сфере — фотолитографическая установка с разрешением 130 нанометров — будет стоить на 40–60% дешевле зарубежных аналогов, то есть около 6 млн долларов.

Напомним, что разработка ЗНТЦ линейки литографов в сотрудничестве с белорусским производителем литографического оборудования «Планар» началась еще в 2022 году. В мае прошлого года ТАСС сообщил, что первый российский литограф с топологическими нормами до 350 нанометров создан и проходит испытания. А в сентябре 2024 года между ЗНТЦ и «Микроном» было заключено соглашение о сотрудничестве в освоении технологий и производстве в России фотолитографического оборудования с нормами 350–90 нанометров. Согласно этому соглашению ЗНТЦ отвечал за разработку оборудования, а «Микрон» — за постановку технологического процесса и доведения разработки до серийного производства. Весной 2025 года создание фотолитографа было завершено, и началась адаптация технологических процессов к особенностям производства конечного потребителя. В настоящее время ЗНТЦ продолжает разработку фотолитографа с разрешением 130 нанометров. По словам представителей компании, завершение разработки планируется в 2026 году, а поставки начнутся в 2028 году. До 2030 года уже запланирована поставка нескольких установок микроэлектронным производствам. По данным издания CNews, ЗНТЦ планирует к 2027 году перейти на технологию 90 нанометров, а к 2030 году — освоить 65 нанометров.

Добавим, что фотолитография является одним из ключевых процессов микроэлектронного производства. В ходе этого процесса на пластине формируется изображение с шаблона, которое и превращает пластину в микросхему (или множество микросхем). При фотолитографии используется специальный светочувствительный материал фоторезист, производство которого также пытаются наладить в Зеленограде.

Отметим также, что в день подписания соглашения с «Открытыми системами» ЗНТЦ заключил еще один договор о сотрудничестве с входящим в ГК «Элемент» АО «НЗПП Восток» — с целью отработки технологии серийного производства фотонных интегральных схем на литографическом оборудовании нанотехнологического центра.